Merken 28.02.2017

Hochpräzise Positionierung für mittlere Lasten

Aerotechs neuer Hexapod setzt einmal mehr Maßstäbe

Mit den ›HexGen‹-Hexapoden von Aerotech können bei der Positionierung mit sechs Freiheitsgraden deutliche Fortschritte erzielt werden. Das neueste Modell der Serie, der ›HEX300-230HL‹, wurde für Ultrapräzisionsanwendungen bei mittleren Lasten ausgelegt. Dazu zählen sowohl Sensorprüfungen als auch die Probenmanipulaton an Synchrotron-Strahlungsquellen. Die Hexgen-Hexapoden von Aerotech sind die einzigen am Markt verfügbaren Sechsfüßer, bei denen eine Wiederholgenauigkeit von unter 5 µm garantiert werden kann.

Kleinste Schrittweite von nur 20 nm in XYZ und eine Wiederholgenauigkeit von 0,02 µrad in θxθyθz: Der ›HEX300-230HL‹ von Aerotech kann sich sehen lassen. | © Aerotech

Hochsteife Konstruktion

Beim HEX300-230HL erfolgt die Positionierung über sechs hochauflösende Aktoren mit vorgespannten Präzisionslagern, Kugelrollspindeln und weiteren Antriebskomponenten. Im Hex300-230HL ist ein bürsten- und nutenloser AC-Servomotor verbaut, der für Leistung und Lebensdauer sorgt. Im Gegensatz zu Konstruktionen anderer Hersteller, bei denen Riemen, Getriebeköpfe oder andere Kupplungen zum Einsatz kommen, ist der bürstenlose AC-Servomotor direkt mit der Kugelrollspindel verbunden. Dies führt zu einer hohen Antriebssteifigkeit, einer besseren Positioniergenauigkeit und sehr kleinen Schrittweiten (20 nm in XYZ und 0,2 µrad in xyz). Speziell konstruierte versteifte Kugelgelenke verringern die Reibung, erhöhen die Steifigkeit und verbessern die Gesamtperformance des Hexapoden, der mit bis zu 45 kg belastet werden kann.

Je nach anwenderspezifischen Prozessanforderungen können die Plattform und der Sockel des HEX300-230HL problemlos für die jeweilige Anwendung modifiziert werden. Der Hexapod verfügt über eine freie Apertur mit 100 mm Durchmesser in der Plattform sowie eine Apertur mit einem Durchmesser von 60 mm im Sockel. Letztere ermöglicht freien Zugang zum Werkstück von unten. Für die Montage auf optischen Tischen bietet der Hexapod sowohl zöllige als auch metrische Anschlussbohrungen. Er eignet sich außerdem für anspruchsvolle Vakuum-Anwendungen wie die Probenmanipulation an Synchrotron-Strahlungsquellen, optische Testaufbauten, die Halbleiterfertigung und -inspektion sowie die Prüfung von Satelliten und Sonden.

Integrierte Software zur einfachen Visualisierung und Einrichtung

Mit der in die Steuerungssoftware integrierten Applikation ›HexSimTM‹ kann der Nutzer den verfügbaren Arbeitsraum visualisieren und simulieren. Über eine grafische Bedienoberfläche können das jeweils aktive Koordinatensystem ausgewählt und der Pivotpunkt programmiert oder angepasst werden.