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Automatisierung - Mikroelemente

Fertigungsverfahren in der Mikromechanik

Überblick

Die folgenden Fertigungsverfahren sind besonders wichtig:

  • Die Maskierung als Vorbereitung für die Lithographie. Die allgemeine Maskierung findet durch Fotolacke statt, welche als Opferschicht genutzt werden, z.B. zur Erzeugung frei stehender Strukturen.
  • Lithographie (z.B. Röntgen-Tiefenlithographie), durch die die benötigten Formen entstehen.
  • Ätzverfahren (nasschemische, mit Ionenstrahlen), wodurch eine in Schichtdicke, Material und Richtung kontrollierte Abtragung möglich ist.
  • andere Dünnschichttechnologien, wie Epitaxie, Aufdampfen und CVD (Schichtabscheidung)
  • Laserinduzierte Verfahren

Inhaltsverzeichnis

Dr.-Ing. Helmut Lauruschkat hat an der FH und TU Feinwerktechnik studiert und bei Bosch/Siemens in der Konstruktion diverse feinwerktechnische Erfindungen angemeldet. Als langjähriger Geschäftsführer der VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik verfasste er zahlreiche Veröffentlichungen z. B. als Mitgliederinfos in der Organzeitschrift „HANSER Feinwerktechnik & Messtechnik“.

Weiterführende Information
  • Automatisierung - Mikroelemente

    Überblick über die Grundlagen der Mikrotechnik

    Unter Mikrotechnik versteht man die Entwicklung, Herstellung und Anwendung kleinster Bauelemente, Schaltungen und Funktionsgruppen mit elektr(on)ischen, optischen, mechanischen oder fluidischen Wirkprinzipien im Mikrometerbereich.   mehr

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